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集成电路的制造流程和工艺

科技知识 时间:2023-06-01 15:00:29

集成电路制造流程和工艺是将电路所需要的元件制作在一小块硅片、玻璃或陶瓷衬底上,再用适当的工艺进行互连,最后封装在一个管壳内,使整个电路的体积大大缩小,引出线和焊接点的数目也大为减少。制造流程可分为前段制造和后段制造两部分。前段工艺指晶体管等器件的制造过程,大都是设计数字逻辑电路以实现预定功能,主要包括隔离、栅结构、源漏、接触孔等形成工艺。后段工艺是将设计好的逻辑电路布线在一个器件层、多个金属层中,主要是指形成能将电信号传输到芯片各个器件的互连线,包括互连线间介质沉积、金属线条形成、引出焊盘制备工艺为分界线。

集成电路的制造流程和工艺包括以下主要步骤:

1、氧化:通过氧气或蒸气在晶圆表面的流动形成二氧化硅层。

2、化学气相沉积:前驱气体在反应腔发生化学反应并生成附着在晶圆表面的薄膜以及被抽出腔室的副产物。

3、原子层沉积:通过每次只沉积几个原子层从而形成薄膜。

4、掺杂:将需要的杂质掺入特定的半导体区域中,以达到改变半导体电学性质,形成PN结、电阻和欧姆接触。

5、溅射:真空系统中充入惰性气体,在高压电场作用下,气体放电形成的离子被强电场加速,轰击靶材料,使靶原子逸出并被溅射到晶片上。

6、电镀:在金属层上进行电镀处理,以提高导电性能和耐腐蚀性。

7、封装和测试:将芯片封装在塑料或陶瓷封装中,并进行功能和可靠性测试,以确保电路的正确性和性能。

8、制成品测试:对封装好的芯片进行最终的整体性能测试,包括电气特性、可靠性和耐久性等方面的测试。

集成电路的制造流程和工艺是一个复杂的过程,不同的工艺可能会因技术和工艺的不同而有所不同。

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